这是一个发生在隐秘角落，有关80后青春的奋斗故事。

10年前，一个女生毅然迈入 “特种气体”行业，开始了一段“极致气质”的追梦之旅—— “实验室”就是她的花前月下，在枯燥的试验中按下青春键，她用最美芳华寻找99.9995%的至纯美好，打破国外气体行业垄断，助力公司实现了国内同类产品的进口替代，打入全球领先半导体企业供应链体系，以精益求精、持续创新收获甘甜成长。

陈艳珊。佛山日报记者崔艺文摄

传承匠心 逐梦青春：在重复的实验中寻找极致完美

“我非常感谢我的领导，也是我的老师，是他带我走上了高纯六氟乙烷的科研之路。”陈艳珊口中的老师正是广东华特气体股份有限公司的总经理，也是第一届南海大城工匠傅铸红。

人们常说，选择比努力更重要。陈艳珊是幸运的，因为她选对了职业道路，更可贵的是，她还在持续努力。2010年当她毕业进入华特气体的时候，六氟乙烷正在深入研发阶段。在全程参与研发的过程中，陈艳珊跟随前辈学习，一心扑在工作上，查资料、确定工艺、开展试验、优化参数，仅精馏调试的数据就有几百组，重复而枯燥的实验很容易让人厌倦，但是她认为，只要目标明确，方向精准，就没有不往前跑的道理。

六氟乙烷是生产8寸及8寸以上半导体集成电路的必需材料，过去全部依赖进口。2012年，六氟乙烷开始量产，但是华特气体对产品纯度的提升从未停止。陈艳珊介绍，伴随着下游产业技术的快速迭代，对特种气体的精细化程度持续提高。目前，六氟乙烷的纯度达99.9995%以上，并保持产品质量长期稳定可靠。此项技术打破了国外气体公司的垄断，这一成就让华特气体成为特种气体行业当之无愧行业龙头。

手机芯片上的线槽，宽度是头发丝的几千分之一，只能靠气体激光或电离产生的能量去加工，一部手机可能要用到华特五六十种气体……“你能研发出高纯气体之外，还需要具备高纯气体的检测分析能力。”陈艳珊介绍，公司曾在研发一种气体时，要对一种杂质进行定性，但是在国内找不到可以检测的机构，导致项目搁置了几个月，但是他们并没有放弃，直至找到一家国外检测机构能够完成该杂质的定性和定量。

最让陈艳珊有成就感的事情就是看到自己参与研发的气体能够稳定、量产并为公司带来盈利的时候，那一刻所有的辛苦和汗水都化作了甘甜。

持之以恒 精益求精 ：打破国外气体行业垄断

近几年，华特气体保持着每年研发推出2—3种新气体的节奏。在研气体主要涉及光刻、蚀刻、清洗、沉积等环节。基本都用于进口替代，其中某氢化物合成研发项目是为了填补全球技术空白。2020年，陈艳珊作为主要研发人员研发的“一种氨气的纯化系统”和“一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法”两个专利，分别摘得了第七届广东专利奖金奖、第二十一届中国专利优秀奖。

陈艳珊坦言，现在华特气体需要突破的研发难题很多都是涉及一定毒性或特别不稳定的气体，这让研发的难度越发大了。“除了研发过程难度大，还必须保证产品稳定，这不能是偶尔的稳定，是需要长期放在钢瓶中还能保持稳定。”陈艳珊说，目前公司研发的气体可供借鉴的参考资料极其有限，创新是必然之路。

陈艳珊在研发中心检查设备。佛山日报记者崔艺文摄

经过近二十年的发展，华特气体主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在内的 38 项标准， 1 项国际标准和 4 项团体标准，累计取得 136 项专利，其中发明专利20项，实用新型专利114项，外观2项。公司还承担了国家重大科技专项中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目。

从这些成果中，不难看出企业对创新研发的重视。公开的数据显示，华特气体的研发费用逐年在上升，2020年企业的研发投入3036.86万，同比增长19.34%。

华特气体已在特种气体领域生产出高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化氮、高纯八氟环丁烷、高纯三氟甲烷、稀混光刻气等20多个产品并实现了国内同类产品的进口替代，进入了英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等全球领先的半导体企业供应链体系，同时产品出口50多个国家和地区，并获得海外大型气体公司的认可，是国内少数实现了产品出口的气体公司。2019年华特气体成功登陆科创板，是佛山第一家登陆科创板的民营企业，也是我国气体行业首家科创板上市企业。

船到中流浪更急 人到半山路更陡，随着半导体行业对气体纯度要求的提高，精益求精、持续创新的工匠精神也将引领华特气体继续在卓越之路上领跑。

文字 | 佛山日报记者崔艺文