佛山日报讯 记者倪玉洁 通讯员关瑶摄影报道：12月12日-13日，第五届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）在广东佛山举行，吸引了来自中国、美国、德国、日本、荷兰等世界各地众多名企、厂商、科研机构、高校的技术专家和学者参加。

第五届国际先进光刻技术研讨会在佛山举行。

近年来，中国集成电路产业蓬勃发展，国际先进光刻技术研讨会应运而生。作为国内专注于高端光刻技术的研讨会，大会报告内容涉及广泛，涵盖了当前的技术现状、未来的发展趋势以及面临的挑战等，报告发言者均特邀来自先进光刻及相关技术领域的国内外资深专家，代表了其所在领域的国际先进水平。

大会主席、中国集成电路创新联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林表示，集成电路行业的特点是全球合作，希望国内的企业一定要始终坚定遵循以技术为核心的发展路线，坚定以开放、合作的姿态同国际同行合作，吸收借鉴优秀成果，努力贡献自己的知识和能力。

中国集成电路创新联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林致辞。

在广东省、佛山市的大力支持下，季华实验室于2018年正式启动建设，面向世界科技前沿、面向国民经济主战场，围绕国家和广东省重大需求，集聚、整合国内外优势创新资源，打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台。“我们将本着务实创新的态度，努力在先进光刻配套技术及相关制造装备集成方面贡献季华力量。”曹健林说。

省工业和信息化厅总工程师董业民指出，广东正大力推动实施“广东强芯”工程，国家也正式批复广东省集成电路高质量发展方案。佛山市是珠江西岸先进装备产业带的龙头城市，高端装备制造业发达，发展半导体装备及零部件等产业优势明显，“广东强芯”工程大力支持佛山布局建设集成电路装备与零部件创新发展区。广东将努力营造更加优良的发展环境，进一步加大政策供给、改革创新和服务保障力度，依托粤港澳大湾区的国际优势、市场优势和产业配套优势，加快打造我国集成电路产业发展的第三极。

两天时间里，嘉宾们将深入分析光刻领域先进节点最新的技术手段和解决方案，包含先进节点的计算光刻技术、SMO、DTCO、EUV、工艺、量测、Deep Learning、光刻设备、材料等。

本届国际先进光刻技术研讨会由中国集成电路创新联盟、中国光学学会、中国电子学会、中国集成电路材料创新联盟主办，中国科学院微电子研究所、季华实验室、广东省大湾区集成电路与系统应用研究院、佛山科学技术学院承办，佛山高新技术产业开发区管理委员会、中国科学院大学微电子学院、南京诚芯集成电路技术研究院协办。